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潜心科学研究 助力28nm光刻机国产化——我院教师赴华中科技大学陈学东院士实验室参观交流

发布日期:2024-05-14



2024年4月26日,我院一行教师在机电电子工程系系主任高红斌教授的带领下前往华中科技大学机械科学与工程学院陈学东院士团队的实验室,进行了一次深入的参观交流。这次交流不仅为我们提供了近距离接触科研前沿的机会,更为我们的学术探索之路指明了方向。

在交流中,陈院士着重介绍了他们团队的起源和发展历程,并重点介绍了目前的主要工作内容。陈院士课题组长期从事机械动力学与控制研究,面向我国高端装备发展战略,攻克了尖端仪器减振动、重载装备增强度、超精装备控精度的系统技术,发明了准零刚度减振器,用于天空地海5类国防重器的机载仪器,以及IC光刻机与扫描电镜等超精密制造和测量装备;研制了大型重载结构动力学设计-模态试验平台,用于世界首台极地超深钻机等;发明了纳米精度运动工作台技术,用于国产封装光刻机和制造光刻机,为我国装备技术发展作出重要贡献。

交流中,陈学东院士对我院教师白玉梅在减振器项目中的骨干作用,给予了高度认可,强调了她在项目中的关键性角色,指出她具有良好的工程素养和团队合作精神,对“华为减振“项目的成功起到了至关重要的作用。他指出减振器是光刻机运行中不可或缺的关键组成部分,重要性主要体现在:保证成像质量和提高生产效率,提高产品质量和保障生产稳定性等方面。院士对她的辛勤付出表示赞赏,并期待她在未来科研道路上继续发挥重要作用,为科技创新事业做出更大的贡献。

在交流互动中,我们向陈院士提出了许多问题,他都耐心细致地进行了解答,并分享了自己多年从事科研工作的心得体会。陈院士的言传身教,让我们受益匪浅,增长了见识,激发了我们对科研的热情。

此次参观交流活动,不仅让我们近距离感受到了科研的魅力,更让我们对未来的学术道路有了更清晰的规划。


撰稿人:徐   磊

初   审:高红斌

二   审:高   慧

三   审:郝   践